投影光刻机 光刻机 芯片光刻机 元器件光刻机 光刻胶测试

 HWGK0133X-18紫外线光刻箱，配备电子电源，无级调光，主要用于光刻胶测试，中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露，保护人体不受紫外线伤害的UV光刻箱，自动旋转托盘，全方位多角度平行光照射，无照射盲区。

设备组成

UV光源+光刻箱+自动转盘+电源控制器

采用模块型设计

采用模块型设计，可手持、固定、箱式使用。

UV灯头

包含一个长寿命的高压汞灯，发射出UVA（300-400nm），主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。

UV光刻箱

设备包含光刻箱，带有箱门，开关方便，在元件的光刻过程中，能够保护用户免受紫外辐射。

内置遮光型手动快门（工作时无紫外线泄露）
设备集成可伸缩遮光型手动快门，确保光刻的优良重复性，保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。

可调速自动旋转托盘

设备集成可调速自动旋转托盘，光刻效果更好,更彻底。

无级变光(光强可调）

灯管发光强度可以40%~100%，无级调节灯光强度，特别适合科研和工业生产。

反光内壁

光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜，达到均匀照射效果。

强制风冷系统

光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇，使得系统在散热良好的环境工作，增加了系统可靠性。

类别	项  目	参  数
尺寸	外型尺寸（L×W×H）	615×415×615mm
	光刻箱内（L×W×H）	330×345×330mm
灯管	灯管名称	高压汞灯
	功率	450~1700W  无级调光
	极限功率密度	<250mw/cm2
	波峰值	365nm
	曝光面积：	≥φ150mm
旋转托盘	功率	10W
	低速度	1圈/分钟
	高速度	6圈/分钟
	箱内托盘	360度旋转，速度可调
电源	电源需求	220V
	整机功率	1800W
重量	光刻箱体	29KG
	电源箱	4KG
	灯箱	5KG
	总重量	38KG